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主要參數(shù) 
分辨率:XY方向:0.2nm,Z方向:0.1nm 
接觸模式:常規(guī)條件獲得云母晶格圖像 
輕敲模式:常規(guī)條件獲得DNA圖像 
掃描器工作范圍:1um×1um,3um×3um,20um×20um, 
50um×50um,100um×100um,可根據(jù)需要選擇 
樣品尺寸:φ≤25mm 
掃描角度:0~360度,連續(xù)可調(diào) 
掃描速度:0.1Hz~240Hz 
數(shù)據(jù)采樣采用特殊DAC、ADC技術(shù) 
掃描模式:輕敲模式、接觸模式、橫向力模式、RMS模式、抬高模式、FORCE-MAPPING模式。 
抗震系統(tǒng):懸掛式抗震系統(tǒng)、精密隔震平臺(tái)等 
樣品二維移動(dòng)平臺(tái):范圍:5mm×5mm精度:0.1um  |