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本儀器是用來測量精密加工零件（平面、圓柱等外表面）光潔度的儀器，也可以用來測量零件表面刻線，鍍層等深度。
儀器配以各種附件，還能測量粒狀，加工紋路混亂的表面，低反射率的工件表面，同時還能將儀器安置在工件上，對大型工件表面進行測量。儀器測量表面不平深度范圍為1～0.03微米，用測微目鏡和照相方法來評定▽10～▽14光潔度的表面。
本儀器適用于廠礦企業(yè)計量室，精密加工車間，也適用于高等院校，科學研究等單位。
技術參數(shù)
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測量表面光潔度范圍 |
0.03～1μm（▽10～▽14） |
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工作物鏡的數(shù)值孔徑 |
0.65 |
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工作距離 |
0.5mm |
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儀器的視場 |
目視 |
Φ0.25mm |
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照相 |
0.21×0.15mm |
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儀器的放大倍數(shù) |
目視 |
500× |
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照相 |
168× |
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測微目鏡放大倍數(shù) |
12.5× |
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測微鼓分劃值 |
0.01mm |
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綠色干涉綠色片波長 |
λ≈5300Å |
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半寬度 |
▽λ≈100Å |
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工作臺升程 |
5mm |
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X、Y方向移動范圍 |
≈10mm |
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旋轉運動范圍 |
360° |
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儀器標準鏡高反射率 |
≈60% |
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低反射率 |
≈4% |
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可調變壓器輸入電壓 |
220V |
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輸出電壓 |
4V～6V |
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儀器外形尺寸 |
270×160×230mm |
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儀器重量 |
≈5kg |
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